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產(chǎn)品詳情

所在位置: 首頁> 產(chǎn)品目錄> ULVAC愛發(fā)科>

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產(chǎn)品名稱：真空泵
產(chǎn)品型號(hào)：UR1200
產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
產(chǎn)品文檔：

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ULVAC愛發(fā)科 UR1200真空泵 ULVAC愛發(fā)科 UR1200真空泵

詳情介紹：

ULVAC愛發(fā)科 UR1200真空泵

通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

特點(diǎn)

高溫區(qū)域均熱化
實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常**。
瞬停對策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等

規(guī)格

型號(hào)		UR421-T	UR600	UR1200	UR1800	UR3601-TT
使用泵	干式真空泵	UR421-T	UR90	UR90	UR180	UR421-T
	機(jī)械增壓泵	-	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C-T
*大排氣速度	50Hz	410 m3/h (6833 L/min)	653 m3/h (10883 L/min)	1012 m3/h (16867 L/min)	1701 m3/h (28350 L/min)	2700 m3/h (45000 L/min)
到達(dá)壓力		5.0 Pa
*大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
*大排氣口壓力（排出圧力）		1.0~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)		VG100	VG80(NW80)	VG100(NW100)	VG150(NW100)	VG150
排氣口		VG50	NW40			NW50
質(zhì)量		415 kg	370 kg	403 kg	553 kg	720 kg
電源 *2	三相	180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz)	200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)			180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz)
電流值	穩(wěn)定時(shí)	23 A(at 200V)	16.4 A(at 200V)	18.9 A(at 200V)	29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)	39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)
	*大值	52.5 A(at 200V)	17.3 A(at 200V)	22. 4 A(at 200V)	34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)	68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力		0.2~0.5 Mpa	0.1~0.3 Mpa			0.2~0.5 Mpa
冷卻水出入口壓差		>0.2 Mpa	>0.1 Mpa	>0.1 Mpa	>0.1 Mpa	>0.2 Mpa
冷卻水流量		>5.0 L/min
吹掃氣	一次壓力	0.1~0.5 Mpa
	二次壓力	0.05~0.1 Mpa
N2吹掃	軸	5 SLM
	氣鎮(zhèn)	0~195 SLM	0~45 SLM		0~195 SLM	0~195 SLM

*1:請勿在UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT大于壓力值200Pa的情況下進(jìn)行連續(xù)運(yùn)
*　沒有登載規(guī)格一覽表上的UR系列請另行確認(rèn)

■運(yùn)轉(zhuǎn)方式

干式真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)方式			1		2		3
N2 流量		SLM	0		5		5~50*1

ULVAC愛發(fā)科 UR1200真空泵
ULVAC愛發(fā)科 UR1200真空泵
ULVAC愛發(fā)科 UR1200真空泵
ULVAC愛發(fā)科 UR1200真空泵

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產(chǎn)品名稱：真空泵

特點(diǎn)

用途

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