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產(chǎn)品分類(lèi)

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產(chǎn)品詳情

所在位置: 首頁(yè)> 產(chǎn)品目錄> ULVAC愛(ài)發(fā)科>

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產(chǎn)品名稱：真空泵
產(chǎn)品型號(hào)：HR60
產(chǎn)品廠商：ULVAC愛(ài)發(fā)科
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
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ULVAC愛(ài)發(fā)科 HR60真空泵 ULVAC愛(ài)發(fā)科 HR60真空泵

詳情介紹：

ULVAC愛(ài)發(fā)科 HR60真空泵

通過(guò)高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

特點(diǎn)

高溫區(qū)域均熱化
實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。
氦氣密封
通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常**。
瞬停對(duì)策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專(zhuān)用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等

規(guī)格

型號(hào)

HR60

HR90

HR300

HR600

HR1200

使用泵

干式真空泵

HR60

HR90

HR60

HR90

機(jī)械增壓泵

PRC-003A

PRC-006A

PRC-012A

*大
排氣速度

50Hz

m3/h
(L/min)

62(1030)

112(1860)

359(5,980)

653(10,900)

1,012(16,900)

60Hz

m3/h
(L/min)

80(1333)

126(2100)

365(6,080)

701(11,700)

1,051(17,500)

到達(dá)壓力

0.67

*大排氣壓力
（吸入圧力）

大氣壓 *1

*大排氣壓力
（吸入圧力）

1~ 大氣壓

吸氣口 (CE規(guī)格)

VG50(KF50)

VG80(KF50)

VG80(KF80)

VG100(KF100)

排氣口

KF40

質(zhì)量

180

245

275

370

420

電源

三相

VAC
(Hz)

200(50/60), 220(60)

電流值

穩(wěn)定時(shí)

7.1
(at 200V)

11.2
(at 200V)

7.8
(at 200V)

12.9
(at 200V)

15.4
(at 200V)

*大值

7.3
(at 200V)

11.8
(at 200V)

8.1
(at 200V)

13.8
(at 200V)

18.9
(at 200V)

冷卻水一次圧力

MPa

0.1~0.3

冷卻水出入口壓差

MPa

>0.1

冷卻水流量

L/min

>5.0

吹掃氣

一次壓力

MPa

0.1~0.5

二次壓力

MPa

0.05~0.1

N2吹掃

軸

SLM

氣鎮(zhèn)

SLM

0~45

*1 HR300、HR600、HR1200請(qǐng)勿在200Pa以上的吸入壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

尺寸圖

HR60	HR90
HR180	HR300
HR600	HR1200

ULVAC愛(ài)發(fā)科 HR60真空泵
ULVAC愛(ài)發(fā)科 HR60真空泵
ULVAC愛(ài)發(fā)科 HR60真空泵
ULVAC愛(ài)發(fā)科 HR60真空泵

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產(chǎn)品名稱：真空泵

特點(diǎn)

用途

規(guī)格

尺寸圖