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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場直接液體注入系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)：VC-1
產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
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詳情介紹：

HORIBA堀場直接液體注入系統(tǒng)VC-1

VC 系列能夠在無載氣的情況下快速汽化純水或其他液體源，組建更緊湊的汽化系統(tǒng)。

HORIBA 可為您提供由 VC 系列和您需要的所有其他組件組成的定制汽化系統(tǒng)：

一種用于流量測量的液體質(zhì)量流量計(jì)
一種用于蒸氣流量測量的高溫質(zhì)量流量控制器
閥門、過濾器、加熱器等

事業(yè)部: 半導(dǎo)體

產(chǎn)品分類: 流體控制

制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

尺寸緊湊
可安裝在各種位置
*暢銷的 TEOS 汽化系統(tǒng)
結(jié)合 SEF 或 LF，可實(shí)現(xiàn)數(shù)字控制
無需特殊鼓泡罐或汽化罐
DeviceNetTM 型產(chǎn)品系列
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

模型

VC-1420型

產(chǎn)生的流量*1（TEOS產(chǎn)生期間）

*大5.0 CCM轉(zhuǎn)換（液相轉(zhuǎn)換）

支持的液體

TEOS，P（OCH3）3，C6F6

溫升

*高150°C

產(chǎn)生的壓力*1

減壓

外部泄漏完整性

1.0x10-8Pa·m3/s

內(nèi)部泄漏完整性

1.0x10-6Pa·m3/s

浸濕的伙伴

316L不銹鋼（拋光表面）

內(nèi)部加熱器容積

交流100V至120V 70W（35Wx2）

使用的溫度傳感器

K型熱電偶（CA）

耐壓性

1.0MPa（表壓）

標(biāo)準(zhǔn)配件

液體入口：1/8英寸VCR型外螺紋氣體出口：1/4英寸VCR式內(nèi)螺紋

*1根據(jù)液體的類型而變化。

*CCM是表示氣體流速的符號(hào)（25°C、101.3 kPa時(shí)的mL/min）。

可滾動(dòng)的

外形尺寸

VC系列直接注液系統(tǒng)外形尺寸

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產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場直接液體注入系統(tǒng)