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產(chǎn)品詳情

所在位置: 首頁> 產(chǎn)品目錄> HORIBA堀場>

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產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場電容壓力計
產(chǎn)品型號：VG-200
產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
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詳情介紹：

HORIBA堀場電容壓力計VG

VG 系列電容式壓力計尺寸緊湊，采用全金屬設計，可選配自動溫度調節(jié)功能。

事業(yè)部: 半導體

產(chǎn)品分類: 干法制程控制

制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

緊湊型自加熱設計
電極結構帶來高性能和高穩(wěn)定性
鎳合金隔膜具有良好的耐腐蝕性
設定點輸出（2 點）
警報輸出
通過專用軟件調整量程
一鍵歸零
電源要求 +/-15V 直流電或 24V 直流電
符合 CE 認證標準和 RoHS 標準

技術論文

電容薄膜真空計研發(fā) (1.3MB)

摘要
"在用于制造發(fā)光二極管、半導體、平板顯示器和太陽能電池的沉積制程或蝕刻制程中使用了各種氣體，而制程壓力對產(chǎn)品質量影響巨大，因此需要具備良好耐腐蝕性、無氣體依賴性和高精度的真空計。為滿足這些要求，HORIBA STEC 研發(fā)了電容薄膜真空計“VG-200 系列”，性能評估結果顯示其具備出色的重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性。本文將描述下 VG-200 系列產(chǎn)品的特性和性能評估結果。"

Model		VG-200
Full Scale Range	133.32Pa	1.3332kPa/13.332kPa/133.32kPa
Sensor Controled Temperature	55°C/100°C
Accuracy Including non-linearity, hysteresis, non-repeatability *	0.5%R.S.	0.25%R.S.
Resolution	0.03%F.S	0.01%F.S
Zero Temp. Coefficient	0.005%F.S./°C	0.0025%F.S./°C
Span Temp. Coefficient	0.03%R.S./°C	0.02%R.S./°C
Operating Temperature	10°C to 45°C(55°C),10°C to 50°C(100°C)
Response time	<60msec
Warm Up time	60min(55°C),120min(100°C)
Proof Pressure	350kPa(A)
Output	Analog 0-10V, load resistance: 10kΩ or more
Supply Voltage	±15VDC ±5% or 24VDC±5% @0.6Amax
Setpoint	Contact form: 1a,1b, Number of setpoint: 2 Current charge capacity: 0.1A @30VDC

scrollable

* Including non-linearity, hysteresis, non-repeatability at 25℃ ambient temperature after 2hours operation.

Type / Specification

	1. Full scale	2. Heater set temperature	3. Fitting
VG-221	10T：133.32Pa (1Torr) 11T : 1.3332kPa(10Torr) 12T : 13.332kPa(100Torr) 13T : 133.32kPa(1000Torr)	055 : 55°C 100 : 100°C	KF16 : KF16 8CR : 1/2VCR-F CF34 : ICF34

1. Full scale

2. Heater set temperature

3. Fitting

VG-221

10T：133.32Pa
(1Torr)

11T : 1.3332kPa(10Torr)

12T : 13.332kPa(100Torr)

13T : 133.32kPa(1000Torr)

055 : 55°C
100 : 100°C

KF16 : KF16
8CR : 1/2VCR-F
CF34 : ICF34

scrollable

● Please choose full scale,heater set temperature and fitting. ● Please contact us If you need alarm initial setting.

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產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場電容壓力計

Type / Specification