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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:HORIBA堀場電容式壓力計

  • 產(chǎn)品型號:VG-200S
  • 產(chǎn)品廠商:HORIBA堀場
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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詳情介紹:

HORIBA堀場電容式壓力計VG-200S



電容式壓力計

**壓力測量對于包括半導(dǎo)體,F(xiàn)PD, HDD, PV和涂層在內(nèi)的各種行業(yè)的真空工藝是至關(guān)重要的。電容式壓力計從膜片的變形來確定總壓力,當(dāng)膜片的兩側(cè)施加壓力差時,膜片發(fā)生形變。電容式壓力計較于其他方法的優(yōu)點是:

? 高精度

? 壓力輸出對氣體的依賴較小

? 相對氣體的耐腐蝕性

事業(yè)部: 半導(dǎo)體
產(chǎn)品分類: 干法制程控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.


  • 微型自加熱設(shè)計
  • **的電極結(jié)構(gòu)帶來高性能和高穩(wěn)定性
  • SUS316L隔膜
  • 可從溫度控制 (55,100°C ) 或非加熱型選擇
  • 一鍵調(diào)零
  • 電源要求+/-15VDC 或 24VDC
  • 符合 CE 和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)


Model VG-211S VG-221S
F.S. measurement range 133.32 Pa (A) 1.3332kPa (A), 13.332kPa (A), 133.32kPa (A) 133.32Pa (A) 1.3332kPa (A), 13.332kPa (A), 133.32kPa (A)
Sensor temperature *1 Amb. (25°C) 55℃ / 100°C
Accuracy *2 0.5% R.S. 0.25% R.S. 0.5% R.S. 0.25% R.S.
Resolution 0.03% F.S. 0.01% F.S. 0.03% F.S. 0.01% F.S.
Zero temperature coefficient 0.01% F.S./°C 0.005% F.S./°C 0.005% F.S. /°C 0.0025% F.S. /°C
Span temperature coefficient 0.05% R.S./°C 0.03% R.S./°C 0.03% R.S. /°C 0.02% R.S. /°C
Response time < 60msec
Operating temperatue *3 10-50°C
Wetted materials SUS316L
Pressurization limit 300kPA (A) 350kPa (A) 300kPa (A) 350kPa (A)
Output signal 0-10VDC Load resistance: 10kΩ or more
I/O connector D-Sub 15pin
Power supply voltage +15VDC±5%、0.1A max. -15VDC±5%、0.1A max +15VDC±5%, 0.6Amax. -15VDC±5%, 0.6Amax.
24VDC±5%, 2.4W max. 24VDC±5%, 22W max.
warm-up time 15 minutes 60 minutes (55°C temp. control type)
120 minutes (100°C temp. control type)
Open collector output Rated voltage: 30V Rated current: 50mA
Re-Zero input *4 Now-voltage contact input Contact open voltage: 13V Maximum contact current: 1.3mA
Standard fitting *5 KF16, 1/2 inch VCR Female, ICF34, 1/4 inch VCR Female
scrollable

*1 傳感器溫度顯示在銘牌上。訂貨時請注明傳感器溫度。
*2 線性,遲滯和重復(fù)性都包括在內(nèi)。(環(huán)境溫度25℃)
*3 在規(guī)定的環(huán)境條件下,當(dāng)產(chǎn)品周圍有熱源或某些產(chǎn)品緊密放置時,環(huán)境溫度可能超過規(guī)定的環(huán)境溫度。
*4 零點可調(diào)范圍±5%。
*5 訂貨時請注明配件。


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