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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場四極質(zhì)譜分析器
產(chǎn)品型號：QL
產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
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詳情介紹：

HORIBA堀場四極質(zhì)譜分析器QL

微電極系統(tǒng)是*小的質(zhì)譜儀系統(tǒng)之一，安裝起來很容易。該系統(tǒng)已被證明是許多腔室表征應(yīng)用的理想解決方案。小型四極質(zhì)量濾波器陣列的磚利設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了緊湊的尺寸。該系統(tǒng)能夠在比傳統(tǒng)系統(tǒng)高得多的壓力下運(yùn)行，因此減少了對額外差動泵送設(shè)備的需求。

事業(yè)部: 半導(dǎo)體

產(chǎn)品分類: 干法制程控制

制造商: HORIBA STEC有限公司有限公司。

體積小巧，重量輕

與傳統(tǒng)殘余氣體分析儀相比，尺寸為1/20，易于集成到任何系統(tǒng)中

高性能

由9個四極組成的迷你陣列提供了**的靈敏度，其體積僅為傳統(tǒng)四極的一小部分

高壓操作

可在高達(dá)0.9Pa（7mTorr，9 x 10-3mbar）的壓力下使用，從而減少或消除了許多應(yīng)用中昂貴的真空泵送

校準(zhǔn)中的可互換傳感器頭

傳感器頭在裝運(yùn)前經(jīng)過預(yù)調(diào)和校準(zhǔn)，允許用戶在現(xiàn)場進(jìn)行傳感器更改，而無需微調(diào)或技術(shù)專業(yè)知識

網(wǎng)絡(luò)傳感器

一臺使用RS-485的PC*多可監(jiān)控八個傳感器。通過外部I/O進(jìn)行無PC掃描操作也是可能的。

用戶友好型軟件

微孔掃描儀? 2軟件允許用戶以各種模式監(jiān)測氣體的分壓，例如趨勢圖、頻譜圖、條形圖。
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測量原理

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產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場四極質(zhì)譜分析器