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產(chǎn)品詳情

所在位置: 首頁> 產(chǎn)品目錄> TOKYO KEISO東京計裝>

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產(chǎn)品名稱：TOKYO KEISO東京計裝超聲波流量計
產(chǎn)品型號：UCUF-06K
產(chǎn)品廠商：TOKYO KEISO東京計裝
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
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詳情介紹：

TOKYO KEISO東京計裝 UCUF-06K超聲波流量計

UCUF-K系列液體超聲波流量計是專為超純水和各種化學液體的小規(guī)模流量測量而設(shè)計的流量計，由UCUF-K探測器和SFC型傳感器組成。 UCUF探測器的所有接液部件均由半導體工業(yè)用PFA制成，沒有運動部件，也沒有容易積液的O型圈等機械密封。由于其理想的潔凈結(jié)構(gòu)，它是半導體設(shè)備等需要高度潔凈度的過程的理想流量計。

長處

· EMC標準：EN61326-1：2013/EN61326-2-3：2013
· 符合 RoHS 規(guī)范
· 測量高達 40 mm2/s 的高粘度流體
· 精度在讀數(shù)值的 ±1% 以內(nèi)（流速大于 1 m/s 時）
· 寬范圍（典型值為 100：1）
· 理想的清潔結(jié)構(gòu)檢測儀
· 耐腐蝕，易于安裝

主要應(yīng)用

· 半導體制造過程中純水和超純水的流量測量
· 各種化學品注入工藝的流量測量
· 高腐蝕性液體的流量測量
· CMP漿料流量測量
· 其他、小~中口徑工藝液體流量測量
· 適用于清洗設(shè)備和CMP設(shè)備的流量測量和控制

主要技術(shù)指標

探測器規(guī)格

測量對象	所有液體（不含氣泡的液體，混合物必須均勻溶解）
口徑	4毫米~20毫米
流量范圍	大：18.8 ~ 80 L/min（20K）小：0 ~ 0.8 L/min（04K）
流體溫度	+10 ~ +60°攝氏度
流體壓力	0 ~ 0.5MPa（克）
過程連接	PFA 管端
測量精度	±0.008 L/min ~ ±1%

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產(chǎn)品名稱：TOKYO KEISO東京計裝超聲波流量計

長處

主要應(yīng)用

主要技術(shù)指標

探測器規(guī)格