中崎銷售工程師推薦日本NBK鍋屋半導(dǎo)體行業(yè)與NBK關(guān)于的真空環(huán)境

中崎銷售工程師推薦日本NBK鍋屋半導(dǎo)體行業(yè)與NBK關(guān)于的真空環(huán)境

很多半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備都使用了真空技術(shù)。
真空并不是所有的裝置都需要，主要是使用等離子體及電子光束的裝置需要。
我們將利用真空泵形成真空環(huán)境的盒子、房間稱為真空室。

為什么半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備需要真空？

?為了減少雜質(zhì)，提高反應(yīng)的質(zhì)量
在雜質(zhì)較少的真空中通過(guò)成膜及蝕刻等加工，可進(jìn)行高質(zhì)量處理。
?為了降低沸點(diǎn)
通過(guò)降低沸點(diǎn)，可以在較低的溫度下處理芯片。
抑制溫度變化，芯片不易變形。
并且，制造裝置側(cè)也需要采用可承受高溫的材質(zhì)、規(guī)格。
?為了產(chǎn)生等離子體
如果是低壓，施加的電力就會(huì)變低。
并且還可以用各種氣體種類產(chǎn)生等離子體。
真空的分類
盡管統(tǒng)稱為真空，但也分為若干類。
?低真空　　100 kPa～100 Pa
?中真空　　100 Pa～0.1 Pa
?高真空　　0.1 Pa～10-? Pa
?超高真空　10-?Pa以下
NBK備有適于在真空環(huán)境下使用的產(chǎn)品

1.真空裝置用螺絲
備有為排除螺孔底部及鉆孔中殘留氣體的抽真空提供支持的螺絲、墊圈。

NBK的真空裝置用螺絲通孔的加工采用了對(duì)金屬組織影響很小的加工方法。
可抑制使用時(shí)的脆性破壞和在真空環(huán)境下發(fā)生漏氣。

＜豐富的產(chǎn)品系列＞    請(qǐng)由此查看真空裝置用螺絲的全部產(chǎn)品系列
?低排氣
通過(guò)特殊化學(xué)研磨處理，改善表面粗糙度。漏氣量極小。

材質(zhì)	SUSXM7 (相當(dāng)于SUS304)	鈦合金
產(chǎn)品名稱	內(nèi)六角圓柱頭螺栓 （通孔型）	純鈦內(nèi)六角圓柱頭螺栓 （通孔型）	內(nèi)六角極短頭螺栓 （鈦合金 / 通孔型）	鈦合金十字槽埋頭小螺絲 （通孔型）	鈦合金十字槽盤(pán)頭小螺絲 （通孔型）
代表型號(hào)	SVSS-PC	SVST	SVSHT	SVFT	SVPT
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?各種材質(zhì)
備有耐腐蝕性高的鎳鉻合金（相當(dāng)）或哈氏合金（相當(dāng)）、非磁性鈦合金等廣泛產(chǎn)品系列。

材質(zhì)	SUS304?SUSXM7 （相當(dāng)于SUS304)			SUS316L
產(chǎn)品名稱	內(nèi)六角圓柱頭螺栓 （通孔型）	六角螺栓 （通孔型）	內(nèi)六角止動(dòng)螺絲 (通孔型)	內(nèi)六角圓柱頭螺栓 （SUS316L / 通孔型）	墊圈裝入型高強(qiáng)度不銹鋼 內(nèi)六角圓柱頭螺栓 （通孔型）	內(nèi)六角極短頭螺栓 （SUS316L / 通孔型）
代表型號(hào)	SVSS	SVHS	SVTS	SVSL	SVSQLG	SVSHL
	產(chǎn)品系列請(qǐng)看這里			產(chǎn)品系列請(qǐng)看這里

材質(zhì)	相當(dāng)于鎳鉻合金	純鉬	相當(dāng)于哈氏合金		鋁合金	純鈦
產(chǎn)品名稱	內(nèi)六角圓柱頭螺栓 （相當(dāng)于鎳鉻合金 / 通孔型）	鉬制內(nèi)六角圓柱頭螺栓 （通孔型）	內(nèi)六角圓柱頭螺栓 （相當(dāng)于哈氏合金 C-22 / 通孔型）	內(nèi)六角圓柱頭螺栓 （相當(dāng)于哈氏合金 C-276 / 通孔型）	鋁合金內(nèi)六角圓柱頭螺栓 （通孔型）	純鈦內(nèi)六角圓柱頭螺栓 （通孔型）
代表型號(hào)	SVSI	SVSM	SVSH-C22	SVSH-C276	SVSA	SVST
	產(chǎn)品系列 請(qǐng)看這里	產(chǎn)品系列 請(qǐng)看這里	產(chǎn)品系列請(qǐng)看這里		產(chǎn)品系列 請(qǐng)看這里	產(chǎn)品系列 請(qǐng)看這里

形狀示例	短頭螺栓	極短頭螺栓	六角支柱	夾緊螺絲	帶墊圈	墊圈
產(chǎn)品名稱	內(nèi)六角短頭螺栓 （通孔型）	內(nèi)六角極短頭螺栓 （通孔型）	六角支柱 （通孔型）	夾緊螺絲 （通孔型）	墊圈裝入型高強(qiáng)度不銹鋼內(nèi)六角圓柱頭螺栓 （通孔型）	墊圈（通槽型）
代表型號(hào)	SVLS	SVSHS	SHVAS	SCSS-VR	SVSQLG	SWAS-VF
	產(chǎn)品系列 請(qǐng)看這里	產(chǎn)品系列 請(qǐng)看這里	產(chǎn)品系列 請(qǐng)看這里	產(chǎn)品系列 請(qǐng)看這里	產(chǎn)品系列 請(qǐng)看這里	產(chǎn)品系列 請(qǐng)看這里

?粘連、燒結(jié)對(duì)策
備有適于粘連、燒結(jié)對(duì)策的產(chǎn)品。

材質(zhì)	SUS316L	SUSXM7(相當(dāng)于SUS304)	SUSXM7(相當(dāng)于SUS304)
產(chǎn)品名稱	內(nèi)六角圓柱頭螺栓 （ 通孔型/ 表面硬化處理）	內(nèi)六角圓柱頭螺栓 （通孔型/ 二硫化鉬噴丸）	內(nèi)六角圓柱頭螺栓 （通孔型/ 鍍銀）
代表型號(hào)	SVSL-PN	SVSS-MOS	SVSS-AG
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2.低排氣產(chǎn)品
除真空裝置用螺絲之外，還備有低排氣的螺絲、聯(lián)軸器。

?螺絲

材質(zhì)	SPD-C	SPDC-H	SPE-C
產(chǎn)品名稱	VESPEL SP-1	VESPEL SCP-5000	PEEK
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?聯(lián)軸器

我們備有可用于無(wú)塵室、真空中、高溫（80℃以上）等特殊環(huán)境的聯(lián)軸器。

類型	一體狹縫切割型			十字滑塊型		膜片型
照片
型號(hào)	XSTS	XWSS	MSXP	MOHS	MOP	XBWS＊	XBSS＊
材質(zhì)	SUS316L	SUS316L	PEEK	SUS303 VESPEL＊＊ SUSXM7	A2017 PEEK SUSXM7	SUS303 SUSXM7	SUS303 SUSXM7
洗凈方法	超聲波洗凈	超聲波洗凈	超聲波洗凈	超聲波洗凈	超聲波洗凈	超聲波洗凈＊	超聲波洗凈＊
低塵	◎	◎	◎	△	△	○	○
適用于真空環(huán)境	○	○	○	◎	◎	○	○
低排氣	○	○	○	○	○	○	○
耐熱	○	○	○	◎	◎	○	○
耐藥性	◎	◎	◎	○	○	○	○
零背隙	◎	◎	◎			◎	◎
高扭矩	○	○				○	○
高扭轉(zhuǎn)剛性						◎	◎
容許誤差調(diào)整	○		○	◎	◎	○	○

◎:特優(yōu)　○:優(yōu)　△:可能產(chǎn)生磨屑。
＊XBWS XBSS 為未洗凈品?？筛鶕?jù)客戶要求進(jìn)行“無(wú)塵洗凈、無(wú)塵包裝”。
＊＊VESPEL是美國(guó)杜邦公司的注冊(cè)商標(biāo)。

3.無(wú)塵洗凈、無(wú)塵包裝服務(wù)
可提供無(wú)塵洗凈和無(wú)塵包裝，可以直接在真空室及無(wú)塵室中使用。