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產(chǎn)品詳情

所在位置: 首頁> 產(chǎn)品目錄> ULVAC愛發(fā)科>

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產(chǎn)品名稱：真空泵
產(chǎn)品型號：LS120A
產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
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ULVAC愛發(fā)科 LS120A真空泵 ULVAC愛發(fā)科 LS120A真空泵

詳情介紹：

ULVAC愛發(fā)科 LS120A真空泵

LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過**的螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合，使該系列產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
在4種機(jī)型中，您可根據(jù)設(shè)備的大小、使用條件及用途選擇*佳排氣容量的泵。

特點(diǎn)

■大氣壓附近的排氣速度*大為80m3/h，與以往的真空泵相比，排氣時間可縮短約20%。
■標(biāo)配的專用消音器能解決干式真空泵特有的噪音問題。極限壓力時的噪音值在61dB（A）以下，
這是一個在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中也不會打擾到您的噪音等級（*1)）
■C規(guī)格標(biāo)配的ECO-SHOCK技術(shù)是一種省電的愛發(fā)科獨(dú)有技術(shù)。
該技術(shù)可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下（*2)
■LS系列無需軸封氣體。以氮?dú)夂涂諝獾鹊呐艢鉃橹鞯那鍧嵐に嚳山档瓦\(yùn)行成本（*3)
■希望進(jìn)一步提高排氣速度的話，建議您搭配機(jī)械增壓泵使用。
通過組合使用排氣速度可以達(dá)到120～1200m3/h。

（*1）LS120A-C時
（*2）C規(guī)格時
（*3）L規(guī)格還可以使用稀釋氣體。

用途

LS系列有兩種規(guī)格。
首先是面向清潔工藝的規(guī)格。
為內(nèi)置ECO-SHOCK的低功耗型，適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。
具體來說，包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。

其次是面向輕工藝的規(guī)格。
具有表面處理和凈化功能，適于水蒸汽和揮發(fā)性排氣等輕工藝用途。
具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業(yè)用途等。

規(guī)格

型式	（C：C式樣）（L：L式樣）	LS120A		LS300A		LS600A		LS1200A
		C	L	C	L	C	L	C	L
*大排氣速度	m3/h	120		380		600		1000
到達(dá)壓力	Pa	≦0.6		≦0.1
電源電壓		200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V 或　400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V
消費(fèi)電力概略值 *1	kW	0.6	2.0	1.0	2.5	1.3	2.6	1.3	2.7
冷卻水量	L/min	>2.0		>4.0
Purge gas 量 *2	SLM	‐	0～50	‐	0～50	‐	0～50	‐	0～50
大水蒸氣處理量 3	kg/h	‐	1.5	‐	1.5	‐	1.5	‐	1.5
噪音值*1	dB(A)	61		61		62		64
吸氣口		KF50(水平)／ VG50(垂直)		ISO-F-50		ISO-F-80		ISO-F-100
排氣口		KF40		KF40		KF40		KF40
質(zhì)量	kg	142		220		242		266
適用規(guī)格		CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)附屬品		電源用連接器、防水電纜夾、信號用連接器、電源連接保護(hù)器
本體選配件		電源電壓：200V級或400V級、密封部材質(zhì)：全氟彈性體(僅用于L型)
外部選配件		MBP吸氣口變換Flange、外殼排氣Port、耐震固定用金屬、LR互換Unit(吸氣口、信號)、 Gas purge

*1：到達(dá)壓力時
*2：C式樣不可流通Purge gas
*3：Purge gas使用時的*大水蒸氣處理量
Note)C式樣不可對應(yīng)無漏

ULVAC愛發(fā)科 LS120A真空泵
ULVAC愛發(fā)科 LS120A真空泵
ULVAC愛發(fā)科 LS120A真空泵
ULVAC愛發(fā)科 LS120A真空泵

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產(chǎn)品名稱：真空泵

特點(diǎn)

用途

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