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詳情介紹：

HORIBA堀場晶圓背面冷卻系統(tǒng)GR-300

晶圓背面冷卻系統(tǒng)

GR-300 系列可以控制用于冷卻晶圓背面的氣體，晶圓通過靜電卡盤系統(tǒng)固定到位。

GR-300 系列的穩(wěn)定性和**性使其成為控制晶圓冷卻系統(tǒng)中氦氣和氬氣流量的理想選擇。

事業(yè)部: 半導體

產(chǎn)品分類: 流體控制

制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

應用示例

在以下示例中，GR-300 系列正在控制用于冷卻晶圓背面的氣體，晶圓通過靜電卡盤系統(tǒng)固定。

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