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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):HORIBA堀場(chǎng)電容壓力計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào):VG-200
  • 產(chǎn)品廠商:HORIBA堀場(chǎng)
  • 產(chǎn)品價(jià)格:0
  • 折扣價(jià)格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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詳情介紹:

HORIBA堀場(chǎng)電容壓力計(jì)VG



VG 系列電容式壓力計(jì)尺寸緊湊,采用全金屬設(shè)計(jì),可選配自動(dòng)溫度調(diào)節(jié)功能。

事業(yè)部: 半導(dǎo)體
產(chǎn)品分類(lèi): 干法制程控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 緊湊型自加熱設(shè)計(jì)
  • 電極結(jié)構(gòu)帶來(lái)高性能和高穩(wěn)定性
  • 鎳合金隔膜具有良好的耐腐蝕性
  • 設(shè)定點(diǎn)輸出(2 點(diǎn))
  • 警報(bào)輸出
  • 通過(guò)專(zhuān)用軟件調(diào)整量程
  • 一鍵歸零
  • 電源要求 +/-15V 直流電或 24V 直流電
  • 符合 CE 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

 

技術(shù)論文

電容薄膜真空計(jì)研發(fā)  (1.3MB)

摘要
"在用于制造發(fā)光二極管、半導(dǎo)體、平板顯示器和太陽(yáng)能電池的沉積制程或蝕刻制程中使用了各種氣體,而制程壓力對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量影響巨大,因此需要具備良好耐腐蝕性、無(wú)氣體依賴(lài)性和高精度的真空計(jì)。為滿足這些要求,HORIBA STEC 研發(fā)了電容薄膜真空計(jì)“VG-200 系列”,性能評(píng)估結(jié)果顯示其具備出色的重現(xiàn)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。本文將描述下 VG-200 系列產(chǎn)品的特性和性能評(píng)估結(jié)果。"

Model   VG-200
Full Scale Range

133.32Pa

1.3332kPa/13.332kPa/133.32kPa
Sensor Controled Temperature 55°C/100°C
Accuracy Including non-linearity, hysteresis, non-repeatability *  0.5%R.S. 0.25%R.S.
Resolution 0.03%F.S 0.01%F.S
Zero Temp. Coefficient

0.005%F.S./°C

0.0025%F.S./°C
Span Temp. Coefficient 0.03%R.S./°C 0.02%R.S./°C
Operating Temperature 10°C to 45°C(55°C),10°C to 50°C(100°C)
Response time <60msec
Warm Up time 60min(55°C),120min(100°C)
Proof Pressure 350kPa(A)
Output Analog 0-10V, load resistance: 10kΩ or more
Supply Voltage ±15VDC ±5% or 24VDC±5% @0.6Amax
Setpoint Contact form: 1a,1b, Number of setpoint: 2 Current charge capacity: 0.1A @30VDC
scrollable

* Including non-linearity, hysteresis, non-repeatability at 25℃ ambient temperature after 2hours operation.

Type / Specification

 

  1. Full scale 2. Heater set temperature 3. Fitting
VG-221

10T:133.32Pa
(1Torr)

11T : 1.3332kPa(10Torr)

12T : 13.332kPa(100Torr)

13T : 133.32kPa(1000Torr)

055 : 55°C
100 : 100°C
KF16 : KF16
8CR : 1/2VCR-F
CF34 : ICF34
scrollable

● Please choose full scale,heater set temperature and fitting. ● Please contact us If you need alarm initial setting.

External Dimension

External Dimension of Capacitance Manometer VG Series


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