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聯(lián)系電話:0731-82115983
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公司地址:湖南省長(zhǎng)沙市開(kāi)福區(qū)四方小區(qū)綜合樓3002
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HORIBA堀場(chǎng)電容壓力計(jì)VG
VG 系列電容式壓力計(jì)尺寸緊湊,采用全金屬設(shè)計(jì),可選配自動(dòng)溫度調(diào)節(jié)功能。
- 緊湊型自加熱設(shè)計(jì)
- 電極結(jié)構(gòu)帶來(lái)高性能和高穩(wěn)定性
- 鎳合金隔膜具有良好的耐腐蝕性
- 設(shè)定點(diǎn)輸出(2 點(diǎn))
- 警報(bào)輸出
- 通過(guò)專(zhuān)用軟件調(diào)整量程
- 一鍵歸零
- 電源要求 +/-15V 直流電或 24V 直流電
- 符合 CE 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
技術(shù)論文
電容薄膜真空計(jì)研發(fā) (1.3MB)
摘要
"在用于制造發(fā)光二極管、半導(dǎo)體、平板顯示器和太陽(yáng)能電池的沉積制程或蝕刻制程中使用了各種氣體,而制程壓力對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量影響巨大,因此需要具備良好耐腐蝕性、無(wú)氣體依賴(lài)性和高精度的真空計(jì)。為滿足這些要求,HORIBA STEC 研發(fā)了電容薄膜真空計(jì)“VG-200 系列”,性能評(píng)估結(jié)果顯示其具備出色的重現(xiàn)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。本文將描述下 VG-200 系列產(chǎn)品的特性和性能評(píng)估結(jié)果。"
Model | VG-200 | |
---|---|---|
Full Scale Range |
133.32Pa |
1.3332kPa/13.332kPa/133.32kPa |
Sensor Controled Temperature | 55°C/100°C | |
Accuracy Including non-linearity, hysteresis, non-repeatability * | 0.5%R.S. | 0.25%R.S. |
Resolution | 0.03%F.S | 0.01%F.S |
Zero Temp. Coefficient |
0.005%F.S./°C |
0.0025%F.S./°C |
Span Temp. Coefficient | 0.03%R.S./°C | 0.02%R.S./°C |
Operating Temperature | 10°C to 45°C(55°C),10°C to 50°C(100°C) | |
Response time | <60msec | |
Warm Up time | 60min(55°C),120min(100°C) | |
Proof Pressure | 350kPa(A) | |
Output | Analog 0-10V, load resistance: 10kΩ or more | |
Supply Voltage | ±15VDC ±5% or 24VDC±5% @0.6Amax | |
Setpoint | Contact form: 1a,1b, Number of setpoint: 2 Current charge capacity: 0.1A @30VDC |
* Including non-linearity, hysteresis, non-repeatability at 25℃ ambient temperature after 2hours operation.
Type / Specification
1. Full scale | 2. Heater set temperature | 3. Fitting | |
---|---|---|---|
VG-221 |
10T:133.32Pa 11T : 1.3332kPa(10Torr) 12T : 13.332kPa(100Torr) 13T : 133.32kPa(1000Torr) |
055 : 55°C 100 : 100°C |
KF16 : KF16 8CR : 1/2VCR-F CF34 : ICF34 |
● Please choose full scale,heater set temperature and fitting. ● Please contact us If you need alarm initial setting.
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