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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場電容式壓力計(jì)
產(chǎn)品型號：VG-200S
產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
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詳情介紹：

HORIBA堀場電容式壓力計(jì)VG-200S

電容式壓力計(jì)

**壓力測量對于包括半導(dǎo)體，F(xiàn)PD, HDD, PV和涂層在內(nèi)的各種行業(yè)的真空工藝是至關(guān)重要的。電容式壓力計(jì)從膜片的變形來確定總壓力，當(dāng)膜片的兩側(cè)施加壓力差時(shí)，膜片發(fā)生形變。電容式壓力計(jì)較于其他方法的優(yōu)點(diǎn)是:

? 高精度

? 壓力輸出對氣體的依賴較小

? 相對氣體的耐腐蝕性

事業(yè)部: 半導(dǎo)體

產(chǎn)品分類: 干法制程控制

制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

微型自加熱設(shè)計(jì)
**的電極結(jié)構(gòu)帶來高性能和高穩(wěn)定性
SUS316L隔膜
可從溫度控制（55，100°C ）或非加熱型選擇
一鍵調(diào)零
電源要求+/-15VDC 或 24VDC
符合 CE 和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

Model	VG-211S		VG-221S
F.S. measurement range	133.32 Pa (A)	1.3332kPa (A), 13.332kPa (A), 133.32kPa (A)	133.32Pa (A)	1.3332kPa (A), 13.332kPa (A), 133.32kPa (A)
Sensor temperature *1	Amb. (25°C)		55℃ / 100°C
Accuracy *2	0.5% R.S.	0.25% R.S.	0.5% R.S.	0.25% R.S.
Resolution	0.03% F.S.	0.01% F.S.	0.03% F.S.	0.01% F.S.
Zero temperature coefficient	0.01% F.S./°C	0.005% F.S./°C	0.005% F.S. /°C	0.0025% F.S. /°C
Span temperature coefficient	0.05% R.S./°C	0.03% R.S./°C	0.03% R.S. /°C	0.02% R.S. /°C
Response time	< 60msec
Operating temperatue *3	10-50°C
Wetted materials	SUS316L
Pressurization limit	300kPA (A)	350kPa (A)	300kPa (A)	350kPa (A)
Output signal	0-10VDC Load resistance: 10kΩ or more
I/O connector	D-Sub 15pin
Power supply voltage	+15VDC±5％、0.1A max. -15VDC±5％、0.1A max		+15VDC±5%, 0.6Amax. -15VDC±5%, 0.6Amax.
	24VDC±5%, 2.4W max.		24VDC±5%, 22W max.
warm-up time	15 minutes		60 minutes (55°C temp. control type) 120 minutes (100°C temp. control type)
Open collector output	Rated voltage: 30V Rated current: 50mA
Re-Zero input *4	Now-voltage contact input Contact open voltage: 13V Maximum contact current: 1.3mA
Standard fitting *5	KF16, 1/2 inch VCR Female, ICF34, 1/4 inch VCR Female

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*1 傳感器溫度顯示在銘牌上。訂貨時(shí)請注明傳感器溫度。
*2 線性，遲滯和重復(fù)性都包括在內(nèi)。(環(huán)境溫度25℃)
*3 在規(guī)定的環(huán)境條件下，當(dāng)產(chǎn)品周圍有熱源或某些產(chǎn)品緊密放置時(shí)，環(huán)境溫度可能超過規(guī)定的環(huán)境溫度。
*4 零點(diǎn)可調(diào)范圍±5%。
*5 訂貨時(shí)請注明配件。

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產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場電容式壓力計(jì)

電容式壓力計(jì)