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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:HORIBA堀場同步輻射光柵

  • 產(chǎn)品型號:Lamellar
  • 產(chǎn)品廠商:HORIBA堀場
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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詳情介紹:

HORIBA堀場同步輻射、FEL 和 EUV 光柵Lamellar



全息Lamellar光柵

HORIBA Scientific 全息Lamellar光柵具有超低的刻線粗糙度和獨特的效率均勻性,使其成為同步輻射光源、自由電子激光器 (FEL)、EUV 或軟 X 射線光源的理想選擇。

全息和離子刻蝕工藝使我們能夠定制刻槽形狀和分布,使其具有:

  • 等線距或可變線距 (VLS)

  • 等線距或可變刻槽深度 (VGD)

  • 刻線密度:高達4000gr/mm

  • 尺寸:*大500mm

  • 基材:硅、熔融石英

  • 基板形狀:平面、球形、圓柱形、環(huán)形

  • VLS 或等線距

  • 具有可變刻槽深度 (VGD) 的效率可調(diào)性

  • 面型誤差 ~0.1μrad RMS 的高質(zhì)量基板

  • 超低凹槽粗糙度:~0.2nm RMS

  • 鍍膜:Au、Ni、Pt(其他鍍膜應要求提供)

 


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