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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場 LabRAM奧德賽半導(dǎo)體
產(chǎn)品型號(hào)：LabRAM Odyssey
產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
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詳情介紹：

HORIBA堀場 LabRAM奧德賽半導(dǎo)體

光致發(fā)光和拉曼晶片成像

LabRAM Odyssey半導(dǎo)體顯微鏡是在直徑達(dá)300mm的晶片上進(jìn)行光致發(fā)光和拉曼成像的理想工具。HORIBA*暢銷的真共焦顯微鏡配備了自動(dòng)化300mm樣品臺(tái)和物鏡轉(zhuǎn)臺(tái)，以滿足晶圓均勻性評(píng)估和缺陷檢查的需求。

事業(yè)部: 科學(xué)儀器

產(chǎn)品分類: 拉曼光譜儀

制造商: HORIBA法國有限公司

LabRAM Odyssey Semiconductor包括專為半導(dǎo)體分析設(shè)計(jì)的硬件和軟件：

帶自動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)和樣品臺(tái)的晶圓映射

自動(dòng)300 mm×300 mm XY樣品臺(tái)可接受直徑不超過300 mm（12“）的晶片，用于全晶片和感興趣的小區(qū)域（ROI）的拉曼和光致發(fā)光映射。該臺(tái)的移動(dòng)速度及其穩(wěn)定性確保了對(duì)散布在晶片表面的ROI進(jìn)行快速可靠的測量。

晶片傾斜校正的均勻性測量

“中途傾斜”自動(dòng)對(duì)焦功能可校正任何晶圓彎曲和傾斜，即使是薄層也能產(chǎn)生準(zhǔn)確的全晶圓均勻性數(shù)據(jù)。此函數(shù)很快，因?yàn)樗谟成淝皟H在五個(gè)點(diǎn)確定*佳聚焦高度：在中心和在中心與拐角之間的中間的四個(gè)點(diǎn)。

DuoScan從全晶圓到高分辨率缺陷映射?

DuoScan（雙掃描）? 共焦成像技術(shù)是一種共焦成像模式

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產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場 LabRAM奧德賽半導(dǎo)體