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產(chǎn)品詳情

所在位置: 首頁> 產(chǎn)品目錄> TOKYO KEISO東京計(jì)裝>

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產(chǎn)品名稱：TOKYO KEISO東京計(jì)裝超聲波流量計(jì)
產(chǎn)品型號(hào)：UCUF-20K
產(chǎn)品廠商：TOKYO KEISO東京計(jì)裝
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
產(chǎn)品文檔：

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詳情介紹：

TOKYO KEISO東京計(jì)裝 UCUF-20K超聲波流量計(jì)

UCUF-K系列液體超聲波流量計(jì)是專為超純水和各種化學(xué)液體的小規(guī)模流量測(cè)量而設(shè)計(jì)的流量計(jì)，由UCUF-K探測(cè)器和SFC型傳感器組成。 UCUF探測(cè)器的所有接液部件均由半導(dǎo)體工業(yè)用PFA制成，沒有運(yùn)動(dòng)部件，也沒有容易積液的O型圈等機(jī)械密封。由于其理想的潔凈結(jié)構(gòu)，它是半導(dǎo)體設(shè)備等需要高度潔凈度的過程的理想流量計(jì)。

長(zhǎng)處

· EMC標(biāo)準(zhǔn)：EN61326-1：2013/EN61326-2-3：2013
· 符合 RoHS 規(guī)范
· 測(cè)量高達(dá) 40 mm2/s 的高粘度流體
· 精度在讀數(shù)值的 ±1% 以內(nèi)（流速大于 1 m/s 時(shí)）
· 寬范圍（典型值為 100：1）
· 理想的清潔結(jié)構(gòu)檢測(cè)儀
· 耐腐蝕，易于安裝

主要應(yīng)用

· 半導(dǎo)體制造過程中純水和超純水的流量測(cè)量
· 各種化學(xué)品注入工藝的流量測(cè)量
· 高腐蝕性液體的流量測(cè)量
· CMP漿料流量測(cè)量
· 其他、小~中口徑工藝液體流量測(cè)量
· 適用于清洗設(shè)備和CMP設(shè)備的流量測(cè)量和控制

主要技術(shù)指標(biāo)

探測(cè)器規(guī)格

測(cè)量對(duì)象	所有液體（不含氣泡的液體，混合物必須均勻溶解）
口徑	4毫米~20毫米
流量范圍	大：18.8 ~ 80 L/min（20K）小：0 ~ 0.8 L/min（04K）
流體溫度	+10 ~ +60°攝氏度
流體壓力	0 ~ 0.5MPa（克）
過程連接	PFA 管端
測(cè)量精度	±0.008 L/min ~ ±1%

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產(chǎn)品名稱：TOKYO KEISO東京計(jì)裝超聲波流量計(jì)

長(zhǎng)處

主要應(yīng)用

主要技術(shù)指標(biāo)

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