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產(chǎn)品詳情

所在位置: 首頁> 產(chǎn)品目錄> TOKYO KEISO東京計(jì)裝>

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產(chǎn)品名稱：TOKYO KEISO東京計(jì)裝超聲波流量計(jì)
產(chǎn)品型號(hào)：SFC-010L
產(chǎn)品廠商：TOKYO KEISO東京計(jì)裝
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
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詳情介紹：

TOKYO KEISO東京計(jì)裝 SFC-010L超聲波流量計(jì)

UCUF-02M/SFC-010L是一款液體用超聲波流量計(jì)。可高精度測(cè)量純水、超純水、各種化學(xué)液體的微小流量。測(cè)量管的直徑為2.5 mm，涵蓋了傳統(tǒng)UCUF超聲波流量計(jì)難以測(cè)量的寬范圍的微小流量。半導(dǎo)體行業(yè)用的所有接液部件均采用PFA制成，無活動(dòng)部件，無易積液的密封件，具有理想的清潔結(jié)構(gòu)，非常適合半導(dǎo)體制造設(shè)備等需要清潔度的工藝。流量計(jì)的入口和出口是標(biāo)準(zhǔn)尺寸的管子，可以連接到各種PFA配件。

特征

· 該小口徑超聲波流量計(jì)成功地測(cè)量了內(nèi)徑
φ2.5mm管道中的超聲波傳播，這是測(cè)量超聲波傳播困難的。
· 微流速
的*小滿量程設(shè)定范圍：0 ~ 10 mL/min
· EMC標(biāo)準(zhǔn)：EN61326-1
· 符合 RoHS 規(guī)范
· 測(cè)量高達(dá) 40 mm2/s 的高粘度流體
· 理想的清潔結(jié)構(gòu)檢測(cè)儀
· 耐腐蝕，易于安裝
· 精度：讀數(shù)值的±1%以內(nèi)（流速25mL/min以上）

主要應(yīng)用

· 半導(dǎo)體制造過程中純水和超純水的流量測(cè)量
· 各種化學(xué)品注入工藝的流量測(cè)量
· 高腐蝕性液體的流量測(cè)量
· CMP漿料流量測(cè)量
· 其他，小口徑~中口徑工藝液體流量測(cè)量
· 適用于清洗設(shè)備和CMP設(shè)備的流量測(cè)量和控制

主要技術(shù)指標(biāo)

探測(cè)器規(guī)格

測(cè)量對(duì)象	一般液體（無氣泡液體和不滲透或侵蝕它們的 PFA）
口徑	1/4"
流量范圍	大 0 ~ 100 mL/min 小 0 ~ 10 mL/min * 滿量程設(shè)置為 10 mL/min 步驟
流體溫度	10 ~ 90°C
流體壓力	0 ~ 0.5 兆帕
過程連接	PFA 管端
測(cè)量精度	±1% RD（25mL/min以上） ±0.25 mL/min（小于 25mL/min） * 但是，當(dāng) 20°C 的水流動(dòng)時(shí)

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產(chǎn)品名稱：TOKYO KEISO東京計(jì)裝超聲波流量計(jì)

特征

主要應(yīng)用

主要技術(shù)指標(biāo)

探測(cè)器規(guī)格