產(chǎn)品名稱：TOKYO KEISO東京計裝流量控制器

特征

• · 提高可控性

  對傳統(tǒng)的算術(shù)過程進行了改進，以進一步提高對氣泡的抵抗力。
  流量測量的穩(wěn)定性也得到了提高。

• · 提高可控性

  在階躍響應(yīng)性能方面，*新的算術(shù)電路實現(xiàn)了極快的響應(yīng)，控制速度相對于設(shè)定值小于1.5秒。

• · 兩種閥門類型可供選擇

  我們有用于化學品和 DIW 的針閥，以及用于漿液的夾管閥。
  在夾管類型中增加了新的STA-PURE型Pcs管。
  Stapure管非常耐用，無需更換管子，而過去需要定期更換管子。

• · 小巧輕便

  超聲波流量計檢測器、控制閥和電路安裝在一個小外殼中，安裝在設(shè)備中時節(jié)省空間。
  結(jié)構(gòu)經(jīng)過重新設(shè)計，使傳統(tǒng)產(chǎn)品更加緊湊。 （下降 20%）
  隨著小型化，重量也減輕了。 （下降 35%）

• · 布線和配管

  在安裝時，只需使用多芯電纜進行流體進出口接頭和電氣布線的連接，不需要復雜的管道和布線。

• · 環(huán)保

  電流消耗已降低。 （實際價值下降35%）
  它由符合 RoHS 標準的部件組成。

• · 高耐腐蝕性

  PFA和PTFE是耐腐蝕性極強的材料，用于接液部件，可應(yīng)用于半導體行業(yè)和處理化學品的各種行業(yè)。
  PVDF也被用作外殼材料。

• · EMC一致性

  EN 61326-1：2006標準

主要應(yīng)用

• · 設(shè)置化學品和 DIW 的供應(yīng)流量

  通過在計量泵和儲罐加壓控制的各種化學品和DIW的供應(yīng)管路中安裝CLFC300，可以高精度和穩(wěn)定地控制供應(yīng)的液體量。

• · 濃度控制

  當化學溶液用純水稀釋以控制一定濃度時，在化學溶液和純水管路中安裝CLFC300，以實現(xiàn)**濃度控制和濃縮。

• · 穩(wěn)定供應(yīng)漿液

  通過在CMP設(shè)備的各種漿料供應(yīng)管路中安裝CLFC300，可以提供穩(wěn)定和固定的漿料供應(yīng)，并可以防止廢液的浪費。

主要技術(shù)指標