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TOKYO KEISO東京計裝 FC6000流量控制系統(tǒng)
FC6000是使用高精度超聲波流量計作為流量傳感器的獨立流量控制系統(tǒng)。
FCA6000系列流量控制器內(nèi)置超聲波流量計轉換器,將流量傳感器和控制閥組合在一起,可以形成一個緊湊的系統(tǒng)。
· 控制閥:FCV系列
· 超聲波流量計檢測器:UCUF系列
· 流量控制器:FCA6000系列
通過擴大流量傳感器和控制閥的產(chǎn)品陣容,可以進行廣泛的流量控制。 此外,通過將過程連接處的流量傳感器和控制閥與測量和控制部分分開,提高了**性,并可以自由布局。
它是包括半導體工藝在內(nèi)的各種化學品的**流量控制的理想選擇。
特征
-
· 提高氣泡阻力和流量測量穩(wěn)定性
如果液體中含有氣泡,則超聲波的靈敏度會降低,從而使流量測量變得困難。 FCA6000 系列采用久經(jīng)考驗的專有信號處理技術,即使在靈敏度降低的情況下也能進行流量測量。 此外,基于我們豐富的現(xiàn)場經(jīng)驗,我們已經(jīng)能夠識別和排除異常輸出,從而大大提高了抗氣泡性。 它還提高了流量測量的穩(wěn)定性。
-
· 提高**性和自由布局
通過將過程連接處的流量傳感器/控制閥與測量控制部分分開,提高了防止液體泄漏的**性,并且可以自由選擇布局。
-
· 可進行大范圍的流量控制
FCA6000 系列可處理低至 2.5 ~ 25 mL/min 和高達 1 ~ 10 L/min 的流速。
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· 低功耗
與傳統(tǒng)轉換器相比,F(xiàn)CA6000系列降低了電流消耗。
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· CE標志
符合
歐盟 EMC、RoHS2 和低電壓指令(EMC 標準:EN61326-1:2013、EN61326-2-3:2013) -
· 高耐腐蝕性
UCUF系列的接液部件由PFA和PTFE制成,具有極強的耐腐蝕性,可應用于半導體行業(yè)和
各種化學品行業(yè)。
主要技術指標
控制閥
格式 | FCV-1000S型 | FCV-3000型 |
---|---|---|
口徑 | Φ3/8"、Φ1/2" | Φ1/4" |
流量范圍 |
*大 10 L/min *小 200 mL/min |
*大 2 L/min *小 2.5 mL/min |
流體溫度 | 5 ~ 50 °C | |
流體壓力 | 0.3MPa以下 | |
過程連接 | PTFE、PFA 管端 | |
測量精度 | ±1%(流速1m/s以上)±0.01m/s以內(nèi)(流速小于1m/s) |