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產(chǎn)品詳情

所在位置: 首頁> 產(chǎn)品目錄> TOKYO KEISO東京計(jì)裝>

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產(chǎn)品名稱：TOKYO KEISO東京計(jì)裝超聲波流量計(jì)
產(chǎn)品型號：UCUF-M
產(chǎn)品廠商：TOKYO KEISO東京計(jì)裝
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
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詳情介紹：

TOKYO KEISO東京計(jì)裝 UCUF-M超聲波流量計(jì)

UCUF-M系列液體超聲波流量計(jì)是專為測量超純水和各種化學(xué)液體的小流量而設(shè)計(jì)的流量計(jì)，由UCUF-M型檢測器和SFC型傳感器組成。 UCUF探測器的所有接液部件均由半導(dǎo)體工業(yè)用PFA制成，沒有工作部件，也沒有容易積液的O型圈等機(jī)械密封。由于其理想的潔凈結(jié)構(gòu)，它是半導(dǎo)體設(shè)備等需要潔凈度的過程的理想流量計(jì)。 SFC傳感器顯著降低了對流體中氣泡的影響，這在半導(dǎo)體工藝和化學(xué)工藝中一直是一個(gè)問題。為了響應(yīng)各種化學(xué)溶液，它配備了校正功能，可以消除流體動(dòng)力學(xué)和粘度的影響。 DIN導(dǎo)軌安裝類型是節(jié)省空間的理想選擇。通過RS485通信實(shí)現(xiàn)集中式過程管理。

特征

· EMC標(biāo)準(zhǔn)：EN61326-1
· 符合 RoHS 規(guī)范
· 連接管節(jié)距 80 mm
· 測量高達(dá) 40 mm2/s 的高粘度流體
· 精度在讀數(shù)值的 ±1% 以內(nèi)（流速大于 1 m/s 時(shí)）
· 寬范圍 abiridi （典型值 100 ： 1）
· 理想的清潔結(jié)構(gòu)檢測儀
· 耐腐蝕，易于安裝

主要應(yīng)用

· 半導(dǎo)體制造過程中純水和超純水的流量測量
· 各種化學(xué)品注入工藝的流量測量
· 高腐蝕性液體的流量測量
· CMP漿料流量測量
· 其他，小口徑~中口徑工藝液體流量測量
· 適用于清洗設(shè)備和CMP設(shè)備的流量測量和控制

主要技術(shù)指標(biāo)

探測器規(guī)格

測量對象	一般液體
口徑	2.5 ? 20毫米
流量范圍	大：18.8 ~ 80 L/min 小：0 ~ 0.025 L/min
流體溫度	10 ~ 90°C
流體壓力	0.5MPa以下
過程連接	PFA 管端
測量精度	±1.0%（流速1m/s以上）

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產(chǎn)品名稱：TOKYO KEISO東京計(jì)裝超聲波流量計(jì)

特征

主要應(yīng)用

主要技術(shù)指標(biāo)

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